方法 | 参考标准 | 优点 | 缺点 | 适用范围 |
光度计扫描法-PAO法 | GB50591-2010 ISO14644-3 | 1、简单易学,判断标准0.01%易懂, 2、对背景环境的要求没有计数器法高,瞬时读数。 | 1、发尘量大,对过滤器有一点污染 2、过滤器安装需要留有检漏口,适用于新建厂房 | 适合与HEPA,不适合ULPA 光度计,只能针对油类气溶胶 |
大气尘检漏法(粒子计数器法) | GB50591-2010 洁净室施工及验收规范 | 不需要人为发尘,对过滤器几乎没有污染。 | 对背景要求高,环境洁净度对检漏结果有影响 | 气溶胶对产品有污染的地方,如特定电子厂。 |
粒子计数扫描法 | ISO14644-3洁净室及相关受控环境 | 发尘量,污染少。可直接显示颗粒粒径。漏点值表达明确。 | 新方法;对背景环境有要求高;操作难度规范性高。 | 适用于HEPA及ULPA 适用于油类/固体类气溶胶 |
高效过滤器检漏计数法
高效过滤器PAO检漏
微生物实验室高效过滤器检漏(计数法/PAO法)
洁净室高效过滤器检漏(计数法/PAO法)
微生物实验室/洁净室高效过滤器第三方机构检漏(计数法/PAO法)
微生物实验室/洁净室综合性能(计数法/PAO法)
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微生物实验室/洁净室/高效过滤器完整性/测试(计数法/PAO法)
高效过滤器泄露(计数法/PAO法)
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微生物实验室/洁净室综合环境质量(计数法/PAO法)
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